Total Time /s,kMC steps,RMS roughness /nm,RMS /nm 0.50000009935441736 , 624704 , 2.37427815607826227E-002 , 9.79409771137650514E-002 1.0000008188238296 , 1247603 , 3.38334250090406644E-002 , 0.10652736549710992 1.5000008632336665 , 1871947 , 4.51182021322763874E-002 , 0.12100865152388836 2.0000017517185742 , 2495990 , 5.18321710254238538E-002 , 0.13464374780315019 2.5000018857122068 , 3121435 , 5.96440647694642528E-002 , 0.15174627778014965 3.0000003814381020 , 3747287 , 6.78140914211586149E-002 , 0.17109490180869835 3.5000005049337632 , 4369525 , 7.02511488625266189E-002 , 0.18690848873840371 4.0000003474127936 , 4995117 , 7.39040973831062847E-002 , 0.20616597743021134 4.5000001381088879 , 5619416 , 7.30483436681320375E-002 , 0.22248942566359070 5.0000006846622114 , 6243761 , 7.81037681524881233E-002 , 0.24356308556938930 5.5000004725454810 , 6867524 , 7.75694962792342901E-002 , 0.26212946925665509 6.0000002363196474 , 7492524 , 8.47627799301451795E-002 , 0.28442853999979278 6.5000006490355871 , 8116633 , 8.92292193462732031E-002 , 0.30701426646746505 7.0000024161673382 , 8739620 , 9.17654973611293362E-002 , 0.32332210901585301 7.5000000143275098 , 9363700 , 9.48917908748071054E-002 , 0.34241280123221340 8.0000017675274311 , 9988538 , 9.54619634284693541E-002 , 0.36262271889533160 8.5000004503393161 , 10611800 , 9.41920517076001856E-002 , 0.37843395152445408 9.0000008235240578 , 11235110 , 9.70446524899467172E-002 , 0.39987948365154280 9.5000019709017192 , 11858373 , 9.57513036381427568E-002 , 0.41690384451792195 10.000000211860678 , 12480420 , 9.51929152692504443E-002 , 0.43596744285962691 10.500000237895746 , 13103861 , 9.49346832679055785E-002 , 0.45319419047552317 11.000000740390387 , 13728720 , 9.17714850273233657E-002 , 0.46917997029183500 11.500000566261129 , 14353199 , 9.02860174618384109E-002 , 0.48906798494251247 12.000002001824843 , 14977912 , 8.90014877185607428E-002 , 0.50511479889180699 12.500000468958513 , 15602107 , 8.97360392069832258E-002 , 0.52421040275997621 13.000000836796103 , 16225706 , 8.76702907041221197E-002 , 0.53891739716515774 13.500000184168432 , 16849743 , 8.69304619676782159E-002 , 0.55612348923626143 14.000003243824240 , 17473052 , 8.40765509198196787E-002 , 0.56965045764152245 14.500000796276920 , 18097343 , 8.54716055648109541E-002 , 0.58636716873716699 15.000000935217725 , 18722116 , 8.76087412798889908E-002 , 0.60516940466180624 15.500000503025689 , 19346425 , 9.04983710531341023E-002 , 0.62436322278284118 16.000000234377030 , 19971551 , 9.26856448098174746E-002 , 0.64458500889063486 16.500000686138730 , 20594468 , 9.40283176312656094E-002 , 0.66581753056349424 17.000000510253713 , 21217233 , 9.78469924966307580E-002 , 0.68796721209747003 17.500001251511147 , 21842259 , 9.95167643181535805E-002 , 0.70727045101367392 18.000001357424651 , 22465950 , 9.61588130071936165E-002 , 0.72504367978939366 18.500001010729282 , 23089256 , 9.73809315295907502E-002 , 0.74726801210765514 19.000001630887855 , 23713923 , 0.10259059510267429 , 0.76832051531043255 19.500000630659990 , 24338138 , 9.89084394648379051E-002 , 0.78920639102119339 20.000001351477103 , 24962986 , 9.43475183210222973E-002 , 0.80607312910179207 20.500000321348754 , 25588405 , 9.35491082903180809E-002 , 0.82865753743398252 21.000000719474642 , 26211346 , 9.51458600215394773E-002 , 0.84953509286390205 21.500000357399070 , 26835328 , 9.10924700767955509E-002 , 0.86937777928711801 22.000000874877752 , 27458927 , 8.99121176149516865E-002 , 0.88713709197349833 22.500000428567343 , 28082036 , 8.80791358915218869E-002 , 0.90413279727849005 23.000001406081431 , 28705838 , 8.61779042503901804E-002 , 0.91999935158614909 23.500000600461075 , 29330773 , 8.57690161552518426E-002 , 0.93516163668855778 24.000000310069545 , 29956250 , 8.31424081230645040E-002 , 0.95169416493483683 24.500000305808648 , 30580451 , 8.60273134947701357E-002 , 0.96786549461174198 25.000000263848655 , 31204289 , 8.60474232273785167E-002 , 0.98492130388374965 25.500001404361296 , 31827383 , 8.75227320717565649E-002 , 1.0035266474310749 26.000001727450215 , 32452236 , 8.55656220901516579E-002 , 1.0231184137923934 26.500000045545185 , 33076583 , 8.74086979021613253E-002 , 1.0413284701912429 27.000001306716829 , 33700538 , 8.71941904656171468E-002 , 1.0610735470356081 27.500001576251428 , 34324820 , 8.57868136864915753E-002 , 1.0838553933224961 28.000000414692700 , 34948661 , 9.05321028136782252E-002 , 1.1008765152502000 28.500000168691592 , 35571833 , 8.99564799903027346E-002 , 1.1197423154848007 29.000000051700059 , 36197318 , 9.55742691967658015E-002 , 1.1382619522636750 29.500000790531942 , 36822366 , 9.83781136527431405E-002 , 1.1593965602375624 30.000000362578511 , 37447303 , 0.10056949264816820 , 1.1747936882607768 30.500000774431825 , 38071584 , 0.10251695716581946 , 1.1930132955435542 31.000001961643598 , 38696104 , 0.10488827995886549 , 1.2126910230060419 31.500000099556598 , 39320806 , 0.10313458970714236 , 1.2328699838440289 32.000000581910932 , 39944934 , 0.10798866406273121 , 1.2551741046380207 32.500000964658724 , 40569381 , 0.10541076447914068 , 1.2704519070021856 33.000000693340930 , 41193002 , 0.10630222780258103 , 1.2922797514769686 33.500000230982280 , 41816251 , 0.10641399586674333 , 1.3124806306687817 34.000000587444909 , 42440285 , 0.10478420855697258 , 1.3329719102349893 34.500000508437914 , 43064059 , 0.10184063037487021 , 1.3519489535901232 35.000001059250735 , 43687178 , 0.10358773368811065 , 1.3682990546750282 35.500000591237047 , 44310376 , 0.10735288370853607 , 1.3917743231139270 36.000000018415655 , 44934111 , 0.10911377059634114 , 1.4116824904799945 36.500000392280548 , 45559170 , 0.11073737261307515 , 1.4321490456983532 37.000000259894975 , 46181753 , 0.11187122627240580 , 1.4512975710079896 37.500001270842233 , 46804626 , 0.11081730394486690 , 1.4719868626920365 38.000002098906421 , 47427356 , 0.10948753926587537 , 1.4886765310280599 38.500000110066892 , 48052820 , 0.11219499792951589 , 1.5079424832845494 39.000000995157507 , 48676785 , 0.11196943880610837 , 1.5267070720640727 39.500000684619501 , 49300454 , 0.11365022872080727 , 1.5483157996507722 40.000000005468301 , 49926284 , 0.11253013894066458 , 1.5705750888103231 40.500000694458038 , 50549700 , 0.10958788723884282 , 1.5932820201012419 41.000000122163058 , 51173685 , 0.10669118783104166 , 1.6125881150563375 41.500002535672586 , 51799269 , 0.11134121629949245 , 1.6339681762206888 42.000000538415691 , 52421539 , 0.11144464375687893 , 1.6533339652983325 42.500002085035213 , 53045386 , 0.10740994173383549 , 1.6737111671295057 43.000000244685538 , 53670167 , 0.10647232044190626 , 1.6941549139061738 43.500000248649748 , 54292554 , 0.10668451017199253 , 1.7115400522346920 44.000001478606208 , 54916950 , 0.10810132490773389 , 1.7299972854386303 44.500000160096697 , 55540762 , 0.10616139240757935 , 1.7535166634623978 45.000000635231579 , 56163284 , 0.10763465623871589 , 1.7709799622244191 45.500000601933998 , 56787093 , 0.10921576672608806 , 1.7890195631267254 46.000000192891058 , 57410637 , 0.10459911058959452 , 1.8042685276067376 46.500000844824783 , 58036709 , 0.10158066094561652 , 1.8244661467959120 47.000000130949537 , 58659440 , 0.10111147799230562 , 1.8412497424955054 47.500000742689160 , 59283815 , 9.99810125485214862E-002 , 1.8550069265043259 48.000000611362154 , 59908295 , 0.10375364556916827 , 1.8787185870013576 48.500001401703109 , 60531131 , 0.10715550725537126 , 1.8982816617051590 49.000000596955140 , 61153889 , 0.10890369970663454 , 1.9198895388501627 49.500000678140282 , 61776148 , 0.10828983624816058 , 1.9355239530197601 50.000000391827236 , 62401729 , 0.10876118018800923 , 1.9566328350639723